化學氣相沉積是一種化工技術(shù)，該技術(shù)主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)、在襯底表面上進行化學反應生成薄膜的方法。化學氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來的制備無機材料的新技術(shù)。化學氣相淀積法已經(jīng)廣泛用于提純物質(zhì)、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，而且它們的物理功能可以通過氣相摻雜的淀積過程精確控制?；瘜W氣相淀積已成為無機合成化學的一個新領(lǐng)域。     現(xiàn)代科學和技術(shù)需要使用大量功能各異的無機新材料，這些功能材料必須是高純的，或者是在高純材料中有意地摻入某種雜質(zhì)形成的摻雜材料。但是，我們過去所熟悉的許多制備方法如高溫熔煉、水溶液中沉淀和結(jié)晶等往往難以滿足這些要求，也難以保證得到高純度的產(chǎn)品。因此，無機新材料的合成就成為現(xiàn)代材料科學中的主要課題化學氣相沉積（CVD）1.原理：化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition 簡稱CVD) 是利用氣態(tài)或蒸汽態(tài)的物質(zhì)在氣相或氣固界面上發(fā)生反應生成固態(tài)沉積物的過程。2.過程：化學氣相沉積過程分為三個重要階段：反應氣體向基體表面擴散、反應氣體吸附于基體表面、在基體表面上發(fā)生化學反應形成固態(tài)沉積物及產(chǎn)生的氣相副產(chǎn)物脫離基體表面。＊常見的化學氣相沉積反應有:熱分解反應、化學合成反應和化學傳輸反應等。3.化學氣相沉積法之所以得到發(fā)展，是和它本身的特點分不開的，其特點如下：（1）沉積物種類多: 可以沉積金屬薄膜、非金屬薄膜，也可以按要求制備多組分合金的薄膜，以及陶瓷或化合物層。（2） CVD反應在常壓或低真空進行，鍍膜的繞射性好，對于形狀復雜的表面或工件的深孔、細孔都能均勻鍍覆。（3）能得到純度高、致密性好、殘余應力小、結(jié)晶良好的薄膜鍍層。（4）由于薄膜生長的溫度比膜材料的熔點低得多，由此可以得到純度高、結(jié)晶完全的膜層，這是有些半導體膜層所必須的。（5）利用調(diào)節(jié)沉積的參數(shù)，可以有效地控制覆層的化學成分、形貌、晶體結(jié)構(gòu)和晶粒度等。（6） 設備簡單、操作維修方便。（7） 反應溫度太高，一般要850-1100℃下進行，許多基體材料都耐受不住CVD的高溫。采用等離子或激光輔助技術(shù)可以降低沉積溫度。 CVD設備種類及其特點和應用領(lǐng)域      化學氣相沉積的方法很多，如常壓化學氣相沉積(Atmospheric pressure CVD，APCVD)、低壓化學氣相沉積(Low pressure CVD，LPCVD)、超高真空化學氣相沉積(Ultrahigh vacuum CVD，UHVCVD)、激光誘導化學氣相沉積(Laser CVD，LCVD)、金屬有機物化學氣相沉積(Metal-organic CVD，MOCVD)，等離子體化學氣相沉積（Plasma enhanced CVD，PECVD）等。    根據(jù)CVD的加熱方式，可以將CVD分為熱壁和冷壁兩種。市面上常見的化學氣相沉積系統(tǒng)通常是熱壁CVD，直接依靠爐體的升溫對生長區(qū)進行加熱。熱壁CVD工藝相對更加成熟，制備成本較低，且在材料生長中表現(xiàn)出良好的可靠性，因此收到眾多實驗室的青睞。冷壁 CVD 系統(tǒng)通過恒流源直接對導電襯底供電加熱，腔壁和樣品無直接接觸，僅由于熱輻射傳導而略微升溫，因此稱為“冷壁”。它的優(yōu)點是其降溫速度可以通過所加的恒流源控制，能夠在較大的范圍內(nèi)控制降溫速率。我公司在行業(yè)內(nèi)擁有眾多的設計與施工經(jīng)驗,具有GC2管道施工資質(zhì),配套國內(nèi)多家高校與科研單位合作,根據(jù)不同類型的設備提供不同的高純供氣管道設計與施工方案，下圖與實際案例微波等離子體設備氣路、MPCVD鉆石生長設備供氣氣路、CVD培育鉆石設備供氣、CVD設備氣路管道安裝、CVD設備氣路閥板、CVD設備供氣裝置等

特氣氣體管路輸送系統(tǒng)公司向所有電子半導體行業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的工藝管道氣體輸送系統(tǒng)方案，是指半導體、TFT-LCD、LED、太陽能、光纖、制藥、電子、工業(yè)、實驗室等行業(yè)大宗氣體系統(tǒng)從廠務端的供應設備至生產(chǎn)廠房的管道連接、二次配工程，氣體通過BSGS、氣瓶柜等供應設備和連接管道，將特殊氣體按照工藝要求的參數(shù)安全、持續(xù)的輸送至生產(chǎn)機臺，并且可以保證不間斷供應和全自動供應，以實現(xiàn)持續(xù)生產(chǎn)和客戶利益＊大化。流程圖圖例： HOOKUP工程：特氣氣體輸送設備（BSGS）用于半導體與LCD微電子等行業(yè)特殊氣體輸送系統(tǒng)，多用于有毒/可燃/腐蝕性和稀有氣體。高純氣體供應設備系統(tǒng)包括：特氣柜（GasCabinet）、氣瓶柜（BSGS）、氣瓶架(GR)、閥組箱（VMB）、閥門盤（VMP）等產(chǎn)品；體輸送系統(tǒng)設備         1、高純度大規(guī)模氣體輸送系統(tǒng)。 2、不間斷供氣同時保證系統(tǒng)內(nèi)氣體純度。 3、為客戶降低氣體輸送系統(tǒng)的成本。 4、采用與氣瓶柜相似的技術(shù)規(guī)格。 5、磅秤和加熱系統(tǒng)為可選項，可根據(jù)客戶要求進行配置。      設備—氣瓶柜(GC)及氣瓶架(GR)          1、安全設計（柜殼）          2、316LVIM/VAR材料          3、根據(jù)氣體性質(zhì)應用材料          4、100%內(nèi)表面拋光          5、無顆粒          6、PLC控制與觸摸屏操作          7、簡便的操作和維護          8、全自動循環(huán)進程          9、全自動鋼瓶切換進程          10、安全選型與閥門互鎖功能  設備—氣體分流設備VMB/VMP/VDB/VDP  1、增大生產(chǎn)能力  2、減少氣瓶柜數(shù)量以降低成本  3、簡易化設計  4、全自動、半自動及手動控制  5、1X4、1X6、1X8輸出用點  6、吹掃、真空（可選）  

       公司從事各類燃料氣體設備（包括氫能發(fā)電機、氫能發(fā)電器、通信電源等設備）的氫能源儲氣系統(tǒng)、高壓氫氣管道安裝工程、氫燃料電池電堆供氣管道安裝、氫燃料電池電堆供氣氣路安裝、供氫閥門管道安裝、氮氣、氬氣、氦氣、氧氣、甲烷、煤氣、天然氣、壓縮空氣、廢氣、尾氣、氫氣管路管道氣路安裝組裝、氫廢氣排放排空管道安裝、新能源氣路氣體管道、氫能源管道安裝、氫能源閥組集成、高壓氫氣閥組、加氫站供氣系統(tǒng)閥門、氫能源供氣系統(tǒng)、新能源汽車零部件測試平臺、車載儲/供天然氣（氫氣）系統(tǒng)、氫能源匯流排供氣系統(tǒng)、模塊化高壓儲氣供氣系統(tǒng)、氫氣站高壓閥組組裝、供氫站匯流排、供氫站閥組、氫氣魚雷車減壓裝置、魚雷車匯流排、魚雷車集中供氣系統(tǒng)、魚雷車撬裝設備、高壓氫氣撬裝設備、氫氣撬裝匯流裝置、魚雷車閥組等技術(shù)的開發(fā)、集成、現(xiàn)場施工安裝與調(diào)試，氫氣減壓裝置安全操作規(guī)程及應急措施一、氫氣減壓裝置使用前的檢查：1、檢查連接部位是否漏氣（用氮氣），可涂上肥皂液進行檢查，確認不漏氣后方可使用。2、檢查氫氣魚雷車和減壓裝置是否接地，并定期檢查系統(tǒng)接地電阻。二、 減壓裝置使用前的置換：1、氫氣減壓裝置在首次使用前要進行吹掃，再用氮氣進行置換。2、置換操作：① 緩慢打開氮氣鋼瓶閥及減壓裝置的氮氣進口閥，向系統(tǒng)充入氮氣進行置換。② 待系統(tǒng)中有一定的壓力時，打開減壓裝置的放空閥。③ 在放空口進行取樣分析，當?shù)獨庵械暮趿俊?.4%時，置換合格，然后關(guān)閉放空閥及氮氣進口閥。二、氫氣減壓裝置使用步驟：1、緩慢打開氫氣魚雷車上的氫氣總閥；確認氫氣魚雷車和減壓裝置之間的連接管道無泄漏。2、緩慢打開氫氣減壓裝置上進氫總閥；3、緩慢打開氫氣減壓裝置上的放空閥，繼續(xù)用氫氣置換合格后關(guān)閉放空閥；4、依次緩慢打開減壓裝置減壓閥的進口閥，同時觀察壓力表上的氫氣壓力，調(diào)節(jié)減壓閥（減壓閥減壓后設定壓力一旦確定后，不需要重新設定），將減壓后壓力控制在1.8~1.9Mpa（觀察壓力表壓力），打開減壓閥后出口閥。5、打開減壓裝置上去氫氣緩沖罐總閥，并記錄減壓裝置上氫氣壓力表上的壓力數(shù)值。三、停止使用氫氣減壓裝置操作步驟：1、關(guān)閉氫氣魚雷車上的氫氣總閥；2、關(guān)閉氫氣減壓裝置上進氫總閥；3、依次關(guān)閉減壓裝置上減壓閥進口及出口閥；4、關(guān)閉減壓裝置去氫氣緩沖罐總閥；5、卸下連接氫氣魚雷車的氫氣軟管及靜電接地線。四、操作注意事項：1、操作人員應經(jīng)崗位培訓，考試合格持證上崗；上崗時應穿防靜電工作服，嚴禁攜帶火種、非防爆電子設備進入減壓裝置附近。2、打開氫氣魚雷車閥門時一定要輕緩操作，因為氫氣魚雷車內(nèi)的氫氣壓力比較高，若開啟過大會造成流速過快，產(chǎn)生靜電。另外壓力瞬間過高對管道及接頭造成損壞，產(chǎn)生泄漏。3、操作工操作時嚴禁對管道及閥門敲打，減壓裝置在夏季應防曬。4、氫氣減壓裝置附近不得有明火，如附近需動火作業(yè)，必須辦理動火作業(yè)證，而且明火或電氣設備與減壓裝置的間距不應小于10米。5、嚴禁將氫氣魚雷車內(nèi)氣體用盡，應保留2~3MPa以上的余壓。6、在連接、吹掃、放空時，不能將氫氣同氧化性物質(zhì)接觸。7、減壓裝置在使用中操作工應加強巡回檢查，檢查各閥門是否處于正常狀態(tài)，壓力表指示值是否正常，反應是否靈敏，裝置、管道、閥門、法蘭及各連接處有無泄漏，接地是否完好，要確保系統(tǒng)的正常運行。五、應急措施1、如果氫氣發(fā)生微量泄漏，且可以關(guān)閉氫氣源 ① 警告在減壓裝置附近的工作人員； ② 通過泄漏聲找到泄漏位置； ③ 緩慢關(guān)閉氫氣源（千萬不能形成負壓）。2、如果氫氣泄漏，且不可關(guān)閉氫氣源 ① 如果氫氣泄漏未著火，停留在危險區(qū)外，并設立安全區(qū)； ② 設置斷路標志及警戒帶，或派人斷絕加氫一期大門，嚴禁車輛（包括消防、救護及指揮車輛）及無關(guān)人員進入泄漏區(qū)； ③ 在事故現(xiàn)場嚴禁使用各種非防爆的對講機、移動電話等通訊工具。搶險救災所使用的工具必須是不產(chǎn)生火花的銅制工具； ④ 如果氫氣泄漏已著火，不要試圖撲滅火焰，要加強冷卻正在燃燒的和與其相鄰的貯罐及有關(guān)管道（噴淋保護），將火控制在一定范圍內(nèi)，讓其穩(wěn)定燃燒，然后緩慢關(guān)閉氫氣閥，讓其燃燒逐漸減?。ㄟm當時可用濕棉被或滅火毯覆蓋），切忌開關(guān)閥門過快，引起回火，發(fā)生爆炸； ⑤ 在事故發(fā)生的同時操作工應立即向車間、公司領(lǐng)導匯報、聯(lián)系消防部門。

   我們的焊接團隊擅長于生產(chǎn)標準及復雜的工藝管道和相配套的組件,從簡單的對接焊接到具有挑戰(zhàn)性特種材料，大角度異形焊接，我們具備各方面的專業(yè)知識和制造經(jīng)驗以克服焊 接位置的材料變形，以幫助客戶實現(xiàn)他們的設計和產(chǎn)品要求。焊接技術(shù)我們在軌道焊接領(lǐng)域擁有超過10年的經(jīng)驗，我們使用內(nèi)部開發(fā)的內(nèi)部焊接技術(shù)，為創(chuàng)新制造理念打開大門。  設計  抽查  下料  制作前準備  焊接  拋光  檢測  清洗包裝

大宗氣體系統(tǒng)工程： 半導體、TFT-LCD、LED、太陽能、光纖、生物制藥、電子等行業(yè)使用量較大，需要集中供應的惰性氣體，一般有CDA/IA(CleanDryAir/InstumentAir)、GN2、PN2、PAr、PO2、PH2、PHe七種。 ?大宗氣體輸配系統(tǒng)是指將大宗氣體從氣站通過供應管道輸送至生產(chǎn)廠房，再由生產(chǎn)廠房中預留的閥門通過二次配管連接至生產(chǎn)機臺。管道上可以安裝閥門、調(diào)壓裝置、過濾裝置等，以滿足生產(chǎn)工藝對大宗氣體壓力、流量和純度的要求。?CDA：主要供給FAB內(nèi)氣動設備動力氣源及吹凈(purge)，LocalScrubber助燃。?IA主要供給廠務系統(tǒng)氣動設備動力氣源及吹凈。?N2：主要供給部分氣動設備氣源或供給給吹凈、稀釋、惰性氣體環(huán)境及化學品輸送壓力來源。?O2：供給ETCH制程氧化劑所需及CPCVD制程中供給氧化制程用，供給O3Generator所需之氧氣供應及其它制程所需?Ar：供給Sputter制程，離子濺鍍熱傳導介質(zhì)，Chamber稀釋及惰性氣體環(huán)境。?H2：供給爐管設備燃燒造成濕氧環(huán)境，POLY制程中做H2BAKE之用，W-PLUG制程中作為WF6之還原氣體及其它制程所需。?He：供給化學品輸送壓力介質(zhì)及制程芯片冷卻。

 在現(xiàn)代化實驗室中，為了完成實驗，需要用到多種分析儀器，如氣相色譜儀、原子吸收、氣-質(zhì)聯(lián)用儀、ICP等等，其中這些儀器需要用到高純氣體，傳統(tǒng)的做法是采用獨立鋼瓶供氣模式，且鋼瓶直接放在儀器設備旁邊，無形中增加了安全方面的隱患，但是隨著近年來實驗室投資的不斷加大，儀器設備的迅速增加，用氣量也逐年增加，傳統(tǒng)供氣模式已經(jīng)難以滿足需求，同時分散供氣模式帶來的實驗室布局混亂，鋼瓶的頻繁更換也對實驗室的管理和維護造成了困難，為了解決以上兩個方面的問題，就需要一套安全性高且能實現(xiàn)集中分配供氣的系統(tǒng)完成從氣源向儀器的供氣，這就是實驗室高純氣體管道集中供氣系統(tǒng)的功能所在。氣體安全問題實驗室目前存在的安全隱患有哪些？* 非易燃無毒氣體（含窒息性氣體和氧化性氣體和其他未包含的氣體）* 毒性氣體（含腐蝕性氣體）* 易燃氣體（含易爆氣體）,有毒、易燃易爆氣體的特性:分子量小,擴散快,一旦泄漏造成的危害是＊為嚴重的！ 向來，實驗室是一個危險的地方，也許就是一個炸藥庫，也許是一個生化武器庫，也許是毒藥間，也許是高壓電，有時也象高壓鍋。爆炸案、火災案、中毒案在這里頻頻發(fā)生。稍有偶然的不慎和疏忽，會造成生命財產(chǎn)的重大損失。   根據(jù)統(tǒng)計的100起事故是2001-2016年全國高等院校、科研院所以及包含有物質(zhì)提取、提純、分離、化學反應過程的企業(yè)實驗室發(fā)生的典型事故，其中高等院校71起、科研院所11起、企業(yè)實驗室18起，100起實驗室事故造成8人死亡，593人受傷和中毒（包括28個病菌感染者）。                 中國礦業(yè)大學實驗室爆炸致1死4傷　　2015年4月5日中午，位于徐州的中國礦業(yè)大學化工學院一實驗室發(fā)生爆炸事故，致5人受傷，1人搶救無效死亡。安徽一中學實驗室爆炸3名教師受傷　　2015年4月29日上午，安徽省淮北礦務局朱仙莊礦中學的實驗室突然發(fā)生爆炸，事故造成3名教師受傷。清華實驗室爆炸一博士后身亡  2015年12月18日10點，清華大學化學系實驗室發(fā)生一起爆炸事故，一名博士研究生在實驗室內(nèi)使用氫氣做化學實驗時發(fā)生爆炸，后被確認身亡據(jù)安監(jiān)部門通報，爆炸是在使用氫氣做化學實驗時發(fā)生的。江蘇蘇州大學實驗室發(fā)生爆炸　　2015年6月17日下午16:30分左右，蘇州大學物理樓二樓實驗室在處理鋰塊時發(fā)生爆炸，蘇州消防調(diào)集7輛消防車參與救援，無人員受傷。北京化工大學實驗室著火　　2016年1月10日中午北京化工大學科技大廈一間實驗室內(nèi)又突然著起了火，幸運的是現(xiàn)場無人員傷亡。上海東華大學生物實驗室發(fā)生爆炸　　2016年9月21日，位于松江大學園區(qū)的東華大學化學化工與生物工程學院一實驗室發(fā)生爆炸，兩名學生受重傷，一名學生受輕微擦傷，暫無教師受傷。集中供氣系統(tǒng)優(yōu)點：1、實驗室供氣管道采用BA級無縫鋼管可保持氣體的純度　　  專用氣瓶均配有沖洗閥，以排除每次更換氣瓶時引入的雜質(zhì)，確保了管路終端氣體的純度。2、不間斷氣體供應　　  氣路控制系統(tǒng)可以手動或自動方式在氣瓶之間進行切換，以保證氣體的連續(xù)供給。3、實驗室供氣管道的壓力、泄露警示與緊急切斷　　  當氣壓低于警報限時，報警裝置可自動啟動報警以便及時更換氣瓶，當濃度探測器探測到危險性氣體泄漏時會將信號傳送至報警器同時啟動緊急切斷與排風扇聯(lián)動。4、氣體壓力穩(wěn)定　    系統(tǒng)采用兩級減壓(一級由供氣控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)，二級由使用點的控制閥調(diào)節(jié))方式供氣，可得到非常穩(wěn)定的壓力。5、實驗室供氣管道工程的高效率　　  通過供氣控制系統(tǒng)，可充分使用鋼瓶中的氣體，減少殘氣余量，降低用氣成本。6、操作簡便　　  所有氣瓶均集中在同一位置，減少了搬運安裝等操作，更節(jié)約時間及成本費用。7、減少氣瓶的租金　　  采用中央供氣系統(tǒng)，可減少對氣瓶數(shù)量的要求，從而節(jié)省氣瓶的租用和購買成本。8、減少分子篩損耗　　  控制氣體純度可有效地減少數(shù)派對分子篩的使用量(節(jié)約成本)。9、無氣瓶在實驗室中采用集中供氣系統(tǒng)意味著實驗室中沒有氣瓶裝備，有如下好處：　　*  提高安全性。氣瓶可能倒地而導致?lián)p壞或傷害?！　?  提高安全感。氣瓶可能導致氣體泄漏、火災等危險情況?！　?  節(jié)省空間。從實驗室移走氣瓶可空出更多的實驗空間。集中供氣管道設計依據(jù)與技術(shù)規(guī)范：《工業(yè)金屬管道工程施工及驗收規(guī)范》GB50235-2010《現(xiàn)場設備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗收規(guī)范》GB50236-2011《科學實驗室建筑設計規(guī)范》JGJ91-93《建筑設計防火規(guī)范》GB50016-2006《化工工業(yè)金屬管道工程施工及驗收規(guī)范》GB50235-97《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472-2008《石油化工可燃氣體和有毒氣體檢測報警設計規(guī)范》GB50493-2009《輸氣管道工程設計規(guī)范》GB50251-2003《壓縮空氣站設計規(guī)范》GB50029-2003《氫氣站設計規(guī)范》GB50177-2005《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB50316-2000《氧氣站設計規(guī)范》GB50030-91《乙炔站設計規(guī)范》GB50031-91

公司依托經(jīng)驗豐富的設計工程師和強大的各類專業(yè)設計軟件,能夠協(xié)助客戶解決各類流體設計問題,并根據(jù)客戶所需定制化設計各類電氣相包括手動、聯(lián)動、自動化等流體控制系統(tǒng)。                      

涉及到高潔凈衛(wèi)生級的管道系統(tǒng)：?注射用水(WFI，WaterForInjection)?潔凈蒸汽(CS，CleanSteam)?在線清洗(CIPS/CIPR，Clean-In-PlaceSupply/Return)?工藝料液(PF，ProcessFluid)?通常尺寸從1/2"到4"，采取軌道自動焊(OrbitalWelding)手工焊接和衛(wèi)生級卡口(HygienicClamp)方式連接。 生物制藥管道區(qū)別于石化項目的重要特點：?1.設計細節(jié)要求：潔凈、滅菌、自排凈、可追溯性等?2.安裝要求：軌道自動焊接、內(nèi)窺鏡檢查、嚴格控制坡度、安裝過程中嚴格質(zhì)量控制等?3.材料要求：316L為主，對接觸產(chǎn)品的材料內(nèi)表面處理嚴格要求，分機械拋光和電解拋光，衛(wèi)生級卡口連接等。要求更高的，亦可作鈦管的設計安裝。?4.驗證要求：DQ，IQ，OQ，PQ，工程批，驗證批?5.GMP認證、EU認證、FDA認證相關(guān)