化學(xué)氣相沉積是一種化工技術(shù),該技術(shù)主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)、在襯底表面上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的方法?;瘜W(xué)氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來的制備無機(jī)材料的新技術(shù)?;瘜W(xué)氣相淀積法已經(jīng)廣泛用于提純物質(zhì)、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機(jī)薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物,也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物,而且它們的物理功能可以通過氣相摻雜的淀積過程精確控制?;瘜W(xué)氣相淀積已成為無機(jī)合成化學(xué)的一個(gè)新領(lǐng)域。 現(xiàn)代科學(xué)和技術(shù)需要使用大量功能各異的無機(jī)新材料,這些功能材料必須是高純的,或者是在高純材料中有意地?fù)饺肽撤N雜質(zhì)形成的摻雜材料。但是,我們過去所熟悉的許多制備方法如高溫熔煉、水溶液中沉淀和結(jié)晶等往往難以滿足這些要求,也難以保證得到高純度的產(chǎn)品。因此,無機(jī)新材料的合成就成為現(xiàn)代材料科學(xué)中的主要課題化學(xué)氣相沉積(CVD)1.原理:化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapor Deposition 簡稱CVD) 是利用氣態(tài)或蒸汽態(tài)的物質(zhì)在氣相或氣固界面上發(fā)生反應(yīng)生成固態(tài)沉積物的過程。2.過程:化學(xué)氣相沉積過程分為三個(gè)重要階段:反應(yīng)氣體向基體表面擴(kuò)散、反應(yīng)氣體吸附于基體表面、在基體表面上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成固態(tài)沉積物及產(chǎn)生的氣相副產(chǎn)物脫離基體表面。*常見的化學(xué)氣相沉積反應(yīng)有:熱分解反應(yīng)、化學(xué)合成反應(yīng)和化學(xué)傳輸反應(yīng)等。3.化學(xué)氣相沉積法之所以得到發(fā)展,是和它本身的特點(diǎn)分不開的,其特點(diǎn)如下:(1)沉積物種類多: 可以沉積金屬薄膜、非金屬薄膜,也可以按要求制備多組分合金的薄膜,以及陶瓷或化合物層。(2) CVD反應(yīng)在常壓或低真空進(jìn)行,鍍膜的繞射性好,對(duì)于形狀復(fù)雜的表面或工件的深孔、細(xì)孔都能均勻鍍覆。(3)能得到純度高、致密性好、殘余應(yīng)力小、結(jié)晶良好的薄膜鍍層。(4)由于薄膜生長的溫度比膜材料的熔點(diǎn)低得多,由此可以得到純度高、結(jié)晶完全的膜層,這是有些半導(dǎo)體膜層所必須的。(5)利用調(diào)節(jié)沉積的參數(shù),可以有效地控制覆層的化學(xué)成分、形貌、晶體結(jié)構(gòu)和晶粒度等。(6) 設(shè)備簡單、操作維修方便。(7) 反應(yīng)溫度太高,一般要850-1100℃下進(jìn)行,許多基體材料都耐受不住CVD的高溫。采用等離子或激光輔助技術(shù)可以降低沉積溫度。 CVD設(shè)備種類及其特點(diǎn)和應(yīng)用領(lǐng)域 化學(xué)氣相沉積的方法很多,如常壓化學(xué)氣相沉積(Atmospheric pressure CVD,APCVD)、低壓化學(xué)氣相沉積(Low pressure CVD,LPCVD)、超高真空化學(xué)氣相沉積(Ultrahigh vacuum CVD,UHVCVD)、激光誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積(Laser CVD,LCVD)、金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(Metal-organic CVD,MOCVD),等離子體化學(xué)氣相沉積(Plasma enhanced CVD,PECVD)等。 根據(jù)CVD的加熱方式,可以將CVD分為熱壁和冷壁兩種。市面上常見的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)通常是熱壁CVD,直接依靠爐體的升溫對(duì)生長區(qū)進(jìn)行加熱。熱壁CVD工藝相對(duì)更加成熟,制備成本較低,且在材料生長中表現(xiàn)出良好的可靠性,因此收到眾多實(shí)驗(yàn)室的青睞。冷壁 CVD 系統(tǒng)通過恒流源直接對(duì)導(dǎo)電襯底供電加熱,腔壁和樣品無直接接觸,僅由于熱輻射傳導(dǎo)而略微升溫,因此稱為“冷壁”。它的優(yōu)點(diǎn)是其降溫速度可以通過所加的恒流源控制,能夠在較大的范圍內(nèi)控制降溫速率。微波等離子體設(shè)備氣路、MPCVD鉆石生長設(shè)備供氣氣路、CVD培育鉆石設(shè)備供氣、CVD設(shè)備氣路管道安裝、CVD設(shè)備氣路閥板、CVD設(shè)備供氣裝置等公司在行業(yè)內(nèi)擁有眾多的設(shè)計(jì)與施工經(jīng)驗(yàn),配套國內(nèi)多家高校與科研單位合作,下圖與實(shí)際案例
? ???核能發(fā)電早已經(jīng)是電能生產(chǎn)的主要形式之一,核燃料主要使用的是鈾和钚元素,但是我國某新型核電裝置正要試驗(yàn)以釷元素為燃料的發(fā)電方式,如果試驗(yàn)成功,將代表著我國首先掌握了第四代核能技術(shù)。? ? ? 這座新型核電裝置正是世界上第一座商業(yè)化運(yùn)營的釷基熔鹽堆,具有劃時(shí)代的技術(shù)創(chuàng)新意義,它的建造也標(biāo)志著我國成為世界上第一個(gè)對(duì)第四代核電技術(shù)進(jìn)行商業(yè)化試驗(yàn)運(yùn)營的國家。該反應(yīng)堆于2018年9月30日開工建造,2021年5月基本完工,8月份完成了機(jī)電安裝,目前的安排是將于 9 月底啟動(dòng)試運(yùn)行,由于主要還是實(shí)驗(yàn)性質(zhì),該反應(yīng)堆功率不大,可為1000戶普通家庭提供電能,如果運(yùn)行過程表現(xiàn)良好,那么我國將打造至少可為10萬戶家庭提供電力的更大規(guī)模的釷基熔巖堆,將代表著第四代核電技術(shù)在我國進(jìn)入市場(chǎng)化開發(fā)運(yùn)用的階段。下圖為現(xiàn)場(chǎng)施工圖片
我們的焊接團(tuán)隊(duì)擅長于生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)及復(fù)雜的工藝管道和相配套的組件,從簡單的對(duì)接焊接到具有挑戰(zhàn)性特種材料,大角度異形焊接,我們具備各方面的專業(yè)知識(shí)和制造經(jīng)驗(yàn)以克服焊 接位置的材料變形,以幫助客戶實(shí)現(xiàn)他們的設(shè)計(jì)和產(chǎn)品要求。焊接技術(shù)我們?cè)谲壍篮附宇I(lǐng)域擁有超過10年的經(jīng)驗(yàn),我們使用內(nèi)部開發(fā)的內(nèi)部焊接技術(shù),為創(chuàng)新制造理念打開大門。
實(shí)驗(yàn)室的氣體管道供氣,常采用集中供氣的方式輸送高純氣體,有一下優(yōu)點(diǎn): 1、實(shí)驗(yàn)室供氣管道采用BA級(jí)無縫鋼管可保持氣體的純度 專用氣瓶均配有沖洗閥,以排除每次更換氣瓶時(shí)引入的雜質(zhì),確保了管路終端氣體的純度。 2、不間斷氣體供應(yīng) 氣路控制系統(tǒng)可以手動(dòng)或自動(dòng)方式在氣瓶之間進(jìn)行切換,以保證氣體的連續(xù)供給?! ?、實(shí)驗(yàn)室供氣管道的壓力、泄露警示與緊急切斷 當(dāng)氣壓低于警報(bào)限時(shí),報(bào)警裝置可自動(dòng)啟動(dòng)報(bào)警以便及時(shí)更換氣瓶,當(dāng)濃度探測(cè)器探測(cè)到危險(xiǎn)性氣體泄漏時(shí)會(huì)將信號(hào)傳送至報(bào)警器同時(shí)啟動(dòng)緊急切斷與排風(fēng)扇聯(lián)動(dòng)。 4、氣體壓力穩(wěn)定 系統(tǒng)采用兩級(jí)減壓(一級(jí)由供氣控制系統(tǒng)調(diào)節(jié),二級(jí)由使用點(diǎn)的控制閥調(diào)節(jié))方式供氣,可得到非常穩(wěn)定的壓力。 5、實(shí)驗(yàn)室供氣管道工程的高效率 通過供氣控制系統(tǒng),可充分使用鋼瓶中的氣體,減少殘氣余量,降低用氣成本。 6、操作簡便 所有氣瓶均集中在同一位置,減少了搬運(yùn)安裝等操作,更節(jié)約時(shí)間及成本費(fèi)用?! ?、減少氣瓶的租金 采用中央供氣系統(tǒng),可減少對(duì)氣瓶數(shù)量的要求,從而節(jié)省氣瓶的租用和購買成本?! ?、減少分子篩損耗 控制氣體純度可有效地減少數(shù)派對(duì)分子篩的使用量(節(jié)約成本)?! ?、無氣瓶在實(shí)驗(yàn)室中 采用集中供氣系統(tǒng)意味著實(shí)驗(yàn)室中沒有氣瓶裝備,有如下好處: ---提高安全性。氣瓶可能倒地而導(dǎo)致?lián)p壞或傷害?! ?--提高安全感。氣瓶可能導(dǎo)致氣體泄漏、火災(zāi)等危險(xiǎn)情況?! ?--節(jié)省空間。從實(shí)驗(yàn)室移走氣瓶可空出更多的實(shí)驗(yàn)空間。 一下是相關(guān)集中供氣系統(tǒng)工程案例案例
公司從事各類燃料氣體設(shè)備(包括氫能發(fā)電機(jī)、氫能發(fā)電器、通信電源等設(shè)備)的氫能源儲(chǔ)氣系統(tǒng)、高壓氫氣管道安裝工程、氫燃料電池電堆供氣管道安裝、氫燃料電池電堆供氣氣路安裝、供氫閥門管道安裝、氮?dú)?、氬氣、氦氣、氧氣、甲烷、煤氣、天然氣、壓縮空氣、廢氣、尾氣、氫氣管路管道氣路安裝組裝、氫廢氣排放排空管道安裝、新能源氣路氣體管道、氫能源管道安裝、氫能源閥組集成、高壓氫氣閥組、加氫站供氣系統(tǒng)閥門、氫能源供氣系統(tǒng)、新能源汽車零部件測(cè)試平臺(tái)、車載儲(chǔ)/供天然氣(氫氣)系統(tǒng)、氫能源匯流排供氣系統(tǒng)、模塊化高壓儲(chǔ)氣供氣系統(tǒng)、氫氣站高壓閥組組裝、供氫站匯流排、供氫站閥組、氫氣魚雷車減壓裝置、魚雷車匯流排、魚雷車集中供氣系統(tǒng)、魚雷車撬裝設(shè)備、高壓氫氣撬裝設(shè)備、氫氣撬裝匯流裝置、魚雷車閥組等技術(shù)的開發(fā)、集成、現(xiàn)場(chǎng)施工安裝與調(diào)試,
上海潔安流體科技有限公司多年來服務(wù)于國內(nèi)實(shí)驗(yàn)室氣路安裝、管道設(shè)計(jì)安裝、特種氣體管道安裝、氫氣供應(yīng)管道設(shè)計(jì)安裝,公司主要經(jīng)營工業(yè)、高純流體(氣體)控制系統(tǒng)配件銷售,包括:氣體閥門、氣體管道接頭(卡套、焊接、螺紋)、減壓裝置、氣源集中控制系統(tǒng)、終端實(shí)驗(yàn)用氣系統(tǒng)以及集成等系統(tǒng)。 公司為武漢中極氫能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司提供的氣體管路供氣系統(tǒng),供氣介質(zhì)為氮?dú)狻錃?、壓縮空氣。
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產(chǎn)品展廳