當(dāng)前位置:
V2000型VMB/P,即氣體分流閥箱/盤,適用于制程氣體的分配和壓力調(diào)節(jié)基本功能:1、進(jìn)出口壓力顯示2、各支路壓力調(diào)節(jié)3、主管路擴(kuò)充閥門4、各支路高壓隔離閥5、各支路低壓隔離閥6、測試口7、氮?dú)獯祾呖蛇x功能:1、進(jìn)出口PT顯示2、各支路過濾器3、各支路逆止閥4、主管路氣動(dòng)閥(僅VMB)5、各支路氣動(dòng)閥(僅VMB)6、Exaust Alarm (僅VMB)7、各支路真空排放8、RS485遠(yuǎn)程通訊(僅VMB)附屬設(shè)施:1、電源 220VAC 2A2、供氣管路 316L EP 1/4 VCR3、吹掃管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)4、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN25、排放管路 316 BA 1/2 VCR6、氣動(dòng)氣源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA(僅VMB)7、排風(fēng) 4'' 風(fēng)壓 50Pa
3000D型BSGS是在GC/R的基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)研發(fā)的大流量特氣供應(yīng)系統(tǒng),以O(shè)MRON PLC為控制主體,PROFACE觸摸屏為操作界面,針對(duì)不同性質(zhì)氣體搭配不同的盤面設(shè)計(jì),可以對(duì)超大流量的危險(xiǎn)氣體進(jìn)行不間斷供應(yīng)。3000全系列產(chǎn)品均已通過半導(dǎo)體行業(yè)的SEMI-S2安全認(rèn)證以及電子產(chǎn)品之CE認(rèn)證?;竟δ埽?、可設(shè)定的5級(jí)密碼權(quán)限2、自動(dòng)吹掃,自動(dòng)切換3、手動(dòng)吹掃及操作閥門4、操作及報(bào)警歷史紀(jì)錄5、供氣和報(bào)警參數(shù)設(shè)置6、設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)輸出7、緊急切斷開關(guān)EMO8、高溫自動(dòng)噴淋系統(tǒng)9、鋼瓶吹掃閥箱可選功能:1、UV/IR SENSOR (易燃性氣體)2、磅秤 (液態(tài)氣體)3、Vavle Shutter (危險(xiǎn)氣體)4、Auto Guard (危險(xiǎn)氣體)5、鋼瓶加熱夾克 (低壓氣體)6、盤面管路加熱 (低壓氣體)7、二級(jí)調(diào)壓 (高壓氣體)8、Exaust Alarm (所有氣體)9、Z-Purge Alarm (所有氣體)10、以太網(wǎng)遠(yuǎn)程通訊 (所有氣體)11、HEATING BLOCK (高壓氣體)附屬設(shè)施:1、外觀 750(W) X 550(D) X 2,300(H)2、電源 220VAC 3A3、供氣管路 316L EP 1/4 VCR4、吹掃管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)5、保壓管路 316L EP 1/4 VCR 1000PSI PN2(999.99%6、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN27、排放管路 316 BA 1/2 VCR8、氣動(dòng)氣源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA9、消防水源 1/2 NPT 30-40PSI10、排風(fēng) 6'' 風(fēng)壓 200Pa
3000B型按鈕式全自動(dòng)GC/R為本公司近期**研發(fā)之經(jīng)濟(jì)型氣瓶柜/架,以 **PLC為控制主體,配合對(duì)應(yīng)的操作按鈕及數(shù)顯儀表,針對(duì)不同性質(zhì)氣體搭配不同的盤面設(shè)計(jì),在保留了A型大部分功能的基礎(chǔ)上大大降低了成本,節(jié)省客戶預(yù)算,以滿足SEMI、LED、TFT、SUN SOLAR等各產(chǎn)業(yè)界之不同需求。3000全系列產(chǎn)品均已通過半導(dǎo)體行業(yè)的SEMI-S2安全認(rèn)證以及電子產(chǎn)品之CE認(rèn)證。基本功能:1、自動(dòng)吹掃,自動(dòng)切換2、供氣和報(bào)警參數(shù)設(shè)置3、設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)輸出4、緊急切斷開關(guān)EMO5、高溫自動(dòng)噴淋系統(tǒng)可選功能:1、UV/IR SENSOR (易燃性氣體)2、磅秤 (液態(tài)氣體)3、鋼瓶加熱夾克 (低壓氣體)4、盤面管路加熱 (低壓氣體)5、2-Stage Regulator(B2H6)6、Exaust Alarm (所有氣體)7、Z-Purge Alarm (所有氣體)8、RS485遠(yuǎn)程通訊 (所有氣體)附屬設(shè)施:1、外觀 750(W) X 550(D) X 2,300(H)2、電源 220VAC 3A3、供氣管路 316L EP 1/4 VCR4、吹掃管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)5、保壓管路 316L EP 1/4 VCR 1000PSI PN2(999.99%6、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN27、排放管路 316 BA 1/2 VCR8、氣動(dòng)氣源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA9、消防水源 1/2 NPT 30-40PSI10、排風(fēng) 6'' 風(fēng)壓 200Pa
3000Plus型全自動(dòng)GC/R為本公司21世紀(jì)初期**研發(fā)之新型氣瓶柜/架,以O(shè)MRON PLC為控制主體,PROFACE觸摸屏為操作界面,針對(duì)不同性質(zhì)氣體搭配不同的盤面設(shè)計(jì),可以滿足SEMI、LED、TFT、SUN SOLAR等各產(chǎn)業(yè)界之不同需求。3000全系列產(chǎn)品均已通過半導(dǎo)體行業(yè)的SEMI-S2安全認(rèn)證以及電子產(chǎn)品之CE認(rèn)證。 基本功能:1、可設(shè)定的5級(jí)密碼權(quán)限2、自動(dòng)吹掃,自動(dòng)切換3、手動(dòng)吹掃及操作閥門4、操作及報(bào)警歷史紀(jì)錄5、供氣和報(bào)警參數(shù)設(shè)置6、設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)輸出7、緊急切斷開關(guān)EMO8、高溫自動(dòng)噴淋系統(tǒng)可選功能:1、UV/IR SENSOR (易燃性氣體)2、磅秤 (液態(tài)氣體)3、Vavle Shutter (危險(xiǎn)氣體)4、Auto Guard (危險(xiǎn)氣體)5、鋼瓶加熱夾克 (低壓氣體)6、盤面管路加熱 (低壓氣體)7、2-Stage Regulator(B2H6)8、Exaust Alarm (所有氣體)9、Z-Purge Alarm (所有氣體)10、以太網(wǎng)遠(yuǎn)程通訊 (所有氣體)附屬設(shè)施:1、外觀 750(W) X 550(D) X 2,300(H)2、電源 220VAC 3A3、供氣管路 316L EP 1/4 VCR4、吹掃管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)5、保壓管路 316L EP 1/4 VCR 1000PSI PN2(999.99%6、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN27、排放管路 316 BA 1/2 VCR8、氣動(dòng)氣源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA9、消防水源 1/2 NPT 30-40PSI10、排風(fēng) 6'' 風(fēng)壓 200Pa
產(chǎn)品展廳