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超高純特氣設(shè)備及管路輸送系統(tǒng)
2022-04-15

特氣氣體管路輸送系統(tǒng)

公司向所有電子半導體行業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的工藝管道氣體輸送系統(tǒng)方案,是指半導體、TFT-LCD、LED、太陽能、光纖、制藥、電子、工業(yè)、實驗室等行業(yè)大宗氣體系統(tǒng)從廠務端的供應設(shè)備至生產(chǎn)廠房的管道連接、二次配工程,氣體通過BSGS、氣瓶柜等供應設(shè)備和連接管道,將特殊氣體按照工藝要求的參數(shù)安全、持續(xù)的輸送至生產(chǎn)機臺,并且可以保證不間斷供應和全自動供應,以實現(xiàn)持續(xù)生產(chǎn)和客戶利益*大化。


流程圖圖例:

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HOOKUP工程:

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特氣氣體輸送設(shè)備(BSGS)

用于半導體與LCD微電子等行業(yè)特殊氣體輸送系統(tǒng),多用于有毒/可燃/腐蝕性和稀有氣體。

高純氣體供應設(shè)備系統(tǒng)包括:特氣柜(GasCabinet)、氣瓶柜(BSGS)、氣瓶架(GR)、閥組箱(VMB)、閥門盤(VMP)等產(chǎn)品;


體輸送系統(tǒng)設(shè)備

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? ? ? ? ?1、高純度大規(guī)模氣體輸送系統(tǒng)。

?2、不間斷供氣同時保證系統(tǒng)內(nèi)氣體純度。

?3、為客戶降低氣體輸送系統(tǒng)的成本。

?4、采用與氣瓶柜相似的技術(shù)規(guī)格。

?5、磅秤和加熱系統(tǒng)為可選項,可根據(jù)客戶要求進行配置。

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? ? 設(shè)備—氣瓶柜(GC)及氣瓶架(GR)

? ? ? ? ? 1、安全設(shè)計(柜殼)filenamefilename

? ? ? ? ??2316LVIM/VAR材料

? ? ? ? ??3、根據(jù)氣體性質(zhì)應用材料

? ? ? ? ??4100%內(nèi)表面拋光

? ? ? ? ??5、無顆粒

? ? ? ? ??6PLC控制與觸摸屏操作

? ? ? ? ??7、簡便的操作和維護

? ? ? ? ??8、全自動循環(huán)進程

? ? ? ? ??9、全自動鋼瓶切換進程

? ? ? ? ??10、安全選型與閥門互鎖功能



??設(shè)備—氣體分流設(shè)備VMB/VMP/VDB/VDPfilename

? 1、增大生產(chǎn)能力

? 2、減少氣瓶柜數(shù)量以降低成本

? 3、簡易化設(shè)計

? 4、全自動、半自動及手動控制

? 5、1X41X6、1X8輸出用點

? 6、吹掃、真空(可選)




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